ஜர்னல் ஆஃப் நானோ மெட்டீரியல்ஸ் & மாலிகுலர் நானோடெக்னாலஜி

நானோ அந்துப்பூச்சி-கண் கட்டமைப்புகள் அல்ட்ரா-தின் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த உலர் மற்றும் ஈரமான பொறிகளைப் பயன்படுத்தி உருவாக்கப்படுகின்றன

ரசித் சூட்*, சௌரன் து, டக்ளஸ் பாம்ஃபோர்ட், ஜோயல் ஹென்ஸ்லி, டேவிட் வூல்ஃப், கர்டிஸ் மென்யுக், என்பி சிங் மற்றும் ஃபோ-சென் சோவா

பிரதிபலிப்பு எதிர்ப்பு (AR) பூச்சுகள் பிரதிபலிப்பை அடக்குவதற்கும் ஆப்டிகல் டிரான்ஸ்மிஷனை மேம்படுத்துவதற்கும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஆனால் பல பூச்சுகள் கடுமையான சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகளைத் தாங்க முடியாது. இந்த வேலையில், இடை அகச்சிவப்பு (நடு-ஐஆர்) வரம்பில் உள்ள பிரதிபலிப்பு எதிர்ப்பு பயன்பாடுகளுக்கான தொடர்பு ஒளிப்படவியல் மூலம் கேலியம் ஆர்சனைடு (GaAs) மீது நானோ கட்டமைப்புகளை உருவாக்குவதை நாங்கள் புகாரளிக்கிறோம். ஒரு ஈ-பீம் முகமூடியானது நானோ-கட்டமைப்பு வடிவங்களை ஒரு SiO ₂ பொறித்தல் முகமூடிக்கு லித்தோகிராஃபிக் முறையில் மாற்றுவதற்குப் பயன்படுத்தப்பட்டது , பின்னர் கட்டமைப்பை காலியம் ஆர்சனைடு செதில்களுக்கு மாற்றியது. ரியாக்டிவ் அயன் எட்ச்சிங் (RIE) மற்றும் வெட் பஃபர்டு ஆக்சைடு எட்ச்சிங் (BOE) ஆகியவற்றின் கலவையுடன் ஒரு மெல்லிய லேயர் போட்டோ ரெசிஸ்ட் (PR) மூலம், மெல்லிய PR இலிருந்து தடிமனான SiO ₂ பொறித்தல் முகமூடிக்கு நானோ கட்டமைப்பு வடிவங்களை மாற்ற முடிந்தது. ஒரு செதில் மீது. புனையப்பட்ட கட்டமைப்புகள் 900 nm, 1000 nm, 1100 nm அளவு கொண்ட சதுரங்கள் மற்றும் அறுகோணங்கள் ஆகும், மேலும் இரண்டு அண்டை வடிவங்களுக்கு இடையே உள்ள இடைவெளி 400 nm ஆகும். கட்டமைப்புகளின் சுருதியை மாற்றுவதன் மூலம், நடு-ஐஆர் வரம்பில் (500-2000 செமீ ^-1 அலைஎண்) பரிமாற்றத்தில் முன்னேற்றத்தைக் காண்கிறோம். ஃபோரியர் டிரான்ஸ்ஃபார்ம் இன்ஃப்ராரெட் ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி (FTIR) ஐப் பயன்படுத்தி பூசப்பட்ட மற்றும் பூசப்படாத GaA களின் பரிசோதனை முடிவுகள் பெறப்படுகின்றன, அதே சமயம் பூசிய GaA களின் கோட்பாட்டு முடிவுகள் கடுமையான இணைக்கப்பட்ட அலை பகுப்பாய்வு (RCWA) ஐப் பயன்படுத்தி காட்டப்படுகின்றன. இந்த வேலை ஒரு சிறந்த வெற்றி விகிதத்தையும் துணை அலைநீள நானோ கட்டமைப்புகளை உருவாக்குவதற்கு மிகவும் எளிதில் கிடைக்கக்கூடிய வெகுஜன உற்பத்தி நுட்பத்தையும் வழங்குகிறது. RCWA ஐப் பயன்படுத்தி பெறப்பட்ட கோட்பாட்டு முடிவுகள், ஒரு பக்க பூசப்பட்ட காலியம் ஆர்சனைடு செதில் மூலம் ஒட்டுமொத்த 69% பரிமாற்றத்தைக் காண்பிப்பதற்கான சோதனை முடிவுகளுடன் நன்கு ஒத்துப்போகின்றன.