ஜர்னல் ஆஃப் நானோ மெட்டீரியல்ஸ் & மாலிகுலர் நானோடெக்னாலஜி

நானோலித்தோகிராபி

நானோலித்தோகிராபி என்பது நானோமீட்டர் அளவிலான கட்டமைப்புகளை உருவாக்குதல் மற்றும் நுண்ணிய அளவில் பொறித்தல், எழுதுதல் அல்லது அச்சிடுதல் ஆகியவற்றின் ஆய்வு மற்றும் பயன்பாடு தொடர்பான நானோ தொழில்நுட்பத்தின் கிளை ஆகும். எழுத்துக்களின் பரிமாணங்கள் நானோமீட்டர்களின் வரிசையில் இருக்கும். நானோலிதோகிராஃபியில் பயன்படுத்தப்படும் கருவிகளில் ஸ்கேனிங் ஆய்வு நுண்ணோக்கி (SPM) மற்றும் அணுசக்தி நுண்ணோக்கி (ATM) ஆகியவை அடங்கும். SPM ஆனது மேற்பரப்பை மாற்றியமைக்காமல் நன்றாக விரிவாகப் பார்க்கப்பட்டது. SPM அல்லது ATM ஆனது ஒற்றை அணு பரிமாணங்களில் ஒரு மேற்பரப்பில் பொறிக்க, எழுத அல்லது அச்சிட பயன்படுத்தப்படலாம். நானோலித்தோகிராஃபி என்பது முன்னணி-எட்ஜ் குறைக்கடத்தி ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட சுற்றுகளின் (நானோ சர்க்யூட்ரி), நானோலெக் ட்ரோமெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் (NEMS) அல்லது நானோ ஆராய்ச்சியில் பல்வேறு அறிவியல் துறைகளில் உள்ள வேறு எந்த அடிப்படை பயன்பாட்டிற்கும் நானோ புனையலின் போது பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்தத் தொழில்நுட்பமானது பல்வேறு குறைக்கடத்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் (ICs), NEMS மற்றும் ஆராய்ச்சியில் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு நானோ ஃபேப்ரிகேஷன் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக இருக்கும்.