நியூக்ளியர் எனர்ஜி சயின்ஸ் & பவர் ஜெனரேஷன் டெக்னாலஜி ஜர்னல்

குறைந்த ஆற்றல் ஸ்பட்டரிங் அயன் மூலத்தின் செயல்பாட்டு பண்புகள்

ஹிக்மத் ஏ ஹமத், நிப்ராஸ் எஃப் அலி மற்றும் ஹைதம் எம் ஃபரோக்

குறைந்த ஆற்றல் ஸ்பட்டரிங் அயன் மூலத்தின் செயல்பாட்டு பண்புகள்

இந்த வேலையில், மாற்றியமைக்கப்பட்ட ஃப்ரீமேன் அயன் மூலமானது, அயன் ஸ்பட்டரிங்க்காகப் பயன்படுத்தப்பட்டு, வடிவமைக்கப்பட்டு கட்டமைக்கப்படுகிறது. இந்த அயனி மூலத்தின் தேர்வு, அயனி பொருத்துதல் நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தும் குறைக்கடத்தி துறையில் அதன் குறிப்பிடத்தக்க வெற்றியை அடிப்படையாகக் கொண்டது. வடிவமைப்பு மற்றும் அயனி மூலத்தின் புனைகதை பற்றிய விரிவான தொழில்நுட்ப விளக்கம் கொடுக்கப்பட்டுள்ளது. தெர்மோனிக் உமிழ்வு மின்னோட்ட அளவீடுகள் செய்யப்பட்டன மற்றும் அயனி மூலத்தின் வெளியேற்ற பண்புகள் உன்னிப்பாகக் கண்காணிக்கப்பட்டன. மேலும், சில அளவுருக்களின் விளைவுகள்; மின்னழுத்தம், அழுத்தம், காந்தப்புல வலிமை, வில் மின்னழுத்தம் மற்றும் மின்னோட்ட மின்னோட்டத்தின் மதிப்பில் உள்ள இழை மின்னோட்டம் ஆகியவை ஆய்வு செய்யப்பட்டன. இந்த அளவுருக்கள் சுயாதீனமாக மாறுபடும் என்று கண்டறியப்பட்டது, இது அயனி மூல செயல்பாடு மற்றும் sputtering செயல்முறையை கட்டுப்படுத்த உதவுகிறது. பிரித்தெடுக்கப்பட்ட அயனி கற்றைகளின் முதன்மை முடிவுகள், ஒரு எளிய துருப்பிடிக்காத எஃகு பிரித்தெடுத்தல் தகடு பயன்படுத்தி, sputtering செயல்முறையின் கீழ் கண்டறியப்பட்ட மொத்த அயன் கற்றை மின்னோட்டத்தில் குறைப்பைக் காட்டுகிறது.